Niwed trydan statig mewn ystafell lân
Lled-ddargludyddion, arddangosiadau panel gwastad, optoelectroneg ac ystafelloedd glân eraill, er gwaethaf llawer o waith, mae'r problemau electrostatig yn yr ystafell lân yn dal i effeithio ar ddiogelwch cynhyrchu a chynnyrch, gan effeithio ar gostau a dibynadwyedd gweithgynhyrchu, gan effeithio ar ansawdd a dibynadwyedd cynnyrch.
1. Heddlu Coulomb electrostatig
O dan weithred grym Coulomb electrostatig, mae'r llwch arsugog a'r baw yn achosi i gydrannau ollwng neu ffurfio cylched fer, sy'n amharu ar berfformiad ac yn lleihau cynnyrch a dibynadwyedd yn fawr. Os yw maint gronynnau'r llwch yn> 100 μm, mae lled y wifren alwminiwm tua 100 μm, ac mae trwch y ffilm ocsid yn 50 ,m, mae'r cynnyrch yn fwyaf tebygol o gael ei ddileu. Nawr bod diamedr y wifren yn finer, mae'r ffilm ocsid yn denau iawn, a bydd y gronynnau llwch â maint gronynnau bach yn niweidio'r cydrannau. Mae hyn yn digwydd yn bennaf ym mhrosesau glanhau cyrydiad, ffotolograffeg, weldio ar hap a phecynnu.
2, rhyddhau electrostatig ESD
(1) Mae ffilm ocsid inswleiddio y gydran wedi'i thorri, ac mae'r plwm yn cael ei chwythu neu caiff y llinell ei chwythu. Os yw'r corff dynol yn cario 10KV (100PF) o arwystl statig, mae ESD yn digwydd pan fydd y ddyfais yn cael ei chyffwrdd, a gellir ffurfio'r copaon rhyddhau pwls hyd at 20A (10 ~ 100s) ar unwaith i'r ddaear, heb sôn am ddwysedd uchel, dirwy diamedr gwifren, ffilm SiO2 denau. Lsi, Vlsi, yw'r IC cyffredinol, bydd MOS yn dioddef niwed.
Yn gyffredinol, mae cryfder y cae foltedd sy'n gwrthsefyll y ddyfais sy'n inswleiddio giât SiO2 yn E = (5-10) × 106V / cm. Os yw trwch ffilm y ddyfais SiO2 yn 1000, bydd y foltedd statig o 50V-100V neu fwy yn cael ei daro pan fydd pin mewnbwn y ddyfais yn cael ei ddefnyddio. Gan wisgo, a'r corff â thrydan statig yn fwy na 50V, mae 100V yn gyffredin iawn.
(2) achosi sŵn a allyrru ymyrraeth electromagnetig
Mae ADC yn achosi i EMI fod ag uchafbwynt miniog cyn ac ar ôl y don electromagnetig, ac mae'r signal yn gryf, sy'n gyfwerth ag ychydig foltiau egni yn y gylched. Mae'r amledd yn rhychwantu ychydig o MH2 neu gannoedd o MH2 o sŵn cryf, a all achosi difrod cydran, nid yw offer a synwyryddion yn gweithio'n iawn, neu hyd yn oed yn achosi i'r ddyfais chwalu.
Mae'r EMI a achosir gan ADC hefyd yn achosi mewnbwn o wall gwall neu ffenomen glicio. Mewn ystafell lân, caiff blwch EMIF y waffer ei roi ar droli dur, a throsglwyddir ESD y waffer i'r troli drwy'r anwythydd. Mae'r olwyn wedi'i hinswleiddio, ac mae trylediad EMI yn achosi i'r sawl sy'n trin y wafer chwalu.
(3) Sioc drydanol i'r corff dynol
Pan fydd ESD y corff dynol neu ADC y corff dynol yn fwy na therfyn sioc drydanol y corff dynol sydd ar hyn o bryd yn 5 mA neu fwy, bydd gan bobl deimladau amrywiol o anafiadau, gan achosi gwallau emosiynol a gweithrediadau staff.
Mae ystafelloedd glanhau fel lled-ddargludyddion, arddangosiadau panel gwastad, ac optoelectroneg wedi gwneud llawer o waith, ond mae'r problemau sefydlog mewn ystafelloedd glanhau yn dal i effeithio ar ddiogelwch cynhyrchu a chynnyrch, gan effeithio ar gostau a buddion gweithgynhyrchu, ac effeithio ar ansawdd a dibynadwyedd cynnyrch. Yn ôl arbenigwyr diwydiannol tramor, mae colli cynnyrch yn flynyddol oherwydd trydan statig yn yr Unol Daleithiau yn gyfartalog 8-33%. Mae rhai pobl yn amcangyfrif bod y difrod blynyddol i'r diwydiant electroneg yn yr Unol Daleithiau yn werth 10 biliwn o ddoleri'r Unol Daleithiau. Yn yr 1980au, dadansoddodd Siapan y cynhyrchion electronig a gafodd eu sgrapio. Y golled a achosir gan gyfrifon ADC am 1/3. Dechreuodd lled-ddargludyddion Tsieina, arddangosiadau crisial hylif panel-panel, optoelectroneg, ac ati i gyd yn hwyr, ond mae peryglon electrostatig hefyd yn digwydd o bryd i'w gilydd, ac mae'r cynnyrch yn isel. Mae banciau, cwmnïau gwarantau, cronfeydd data cyfrinachol, canolfannau monitro, ystafelloedd dosbarthu pŵer, ac ati, os bydd ADC yn digwydd, mae'n hawdd achosi ymyrraeth, a chollir y data, mae'r sefyllfa hyd yn oed yn fwy difrifol.