Amodau defnyddio cefnogwyr ion mewn gweithgynhyrchu uwch-dechnoleg



Bydd newid yn y dechnoleg llwyth o'r ffan yn effeithio ar reolaeth statig deunyddiau insiwleiddio wrth gynhyrchu cynhyrchion uwch-dechnoleg. Rheoli trydan statig yw'r sail ar gyfer gwella effeithlonrwydd cynhyrchu, gwella ansawdd a chynyddu elw. Wrth gynhyrchu lled-ddargludyddion, disgiau caled ac arddangosfeydd panel gwastad (FPDs), rheolaeth electrostatig yw un o'r amodau cynhyrchu sylfaenol. Mae methu â rheoli trydan statig yn golygu bod cynhyrchion yn dioddef o halogiad ïonig mawr (problem ESA) a rhyddhau electrostatig (problem ESD) a achosir gan atyniad electrostatig.
Mae gan sefydliadau fel y Gymdeithas ESD ac Offer a Deunyddiau Semiconductor International systemau rheoli statig sy'n dileu problemau statig. Prif ddull hyn yw defnyddio deunyddiau dargludol statig a deunyddiau anghymell statig (gan gynnwys y corff dynol) i gysylltu'n uniongyrchol â'r ddaear i atal trydan statig. Fodd bynnag, mae'n anochel bod y cynnyrch ei hun a'r amgylchedd gwaith yn defnyddio deunyddiau insiwleiddio.
Pan fydd inswleiddio yn rhan annatod o'r cynnyrch materol ei hun, ni allwch ei ddisodli. Er enghraifft, defnyddir wafers silicon gyda haenau ocsid wrth weithgynhyrchu cynhyrchion uwch-dechnoleg, dyfeisiau un arweinydd wedi'u crynhoi mewn ailsefyll epocsi, deunyddiau inswleiddio ar pinnau dyfais, byrddau cylched printiedig epocsi, a thaflenni gwydr yn y diwydiant FPDs. Yn ogystal, mae Teflon, cwarts, a llawer o ddeunyddiau plastig yn dymheredd uchel, yn gwrthsefyll cyrydiad, ac yn gydnaws ag ystafell lanhau, ond maent i gyd yn ddeunyddiau inswleiddio. Nid yw'r sylfaen yn dileu taliadau statig ar ddeunyddiau insiwleiddio, felly yn y rhan fwyaf o achosion yr unig opsiwn sy'n weddill yw niwtraleiddio gydag ïonau aer. Mae hyn yn gofyn am ddefnyddio offer dileu statig arbennig.

